Хімія, фізика та технологія поверхні, 2012, 3 (3), 352-355.

Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію



O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk

Анотація


Теоретично досліджені теплофізичні властивості Si (c). За допомогою програмного пакету Comsol Multiphysics промодельовано розподіл температури у пластинці Si (c). Показано, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію; найбільш ефективно прогрівається приповерхнева область товщиною до 5.мкм.

Повний текст:

PDF

Посилання


Semchuk, O.Yu., Semioshko, V.N., Grechko, L.G. et al. Applied Surface Science. 2006. 252. 4759.

Ахманов С.А., Емельянов В.И., Коротеев Н.И. и др. Воздействие мощного лазерного излучения на поверхность полупроводников и металлов: нелинейно-оптические эффекты и нелинейно-оптическая диагностика // Успехи физ. наук. – 1985. – Т. 147, № 4. – С. 675–745.

Schaaf, P. Prog. Mater. Sci. 2002. 47. 1.

Pereira, A., Cross, A., Delaporte, P.et al. Appl. Phys. A. 2004. 79. 1433.

Лисовченко В.Н., Конакова З.В., Коноплев Б.Г. и др. Уменьшение поглощения в струк-турах кварц/Si , кварц/SiO2 и SiC/Si/SiO2 под влиянием лазерной обработки // Физика и техника полупроводников. – 2010. – Т. 44, № 3. – С. 326–329.

Заботнов С.Е., Ежок А.А., Головань Л.А. и др. Формирование наночастиц на поверх-ности кремния под действием фемто-секундных лазерных импульсов // Физика и техника полупроводников. – 2007. – Т. 41, № 8. – С. 1017–1020.

Байдуллаева А., Власенко А.И., Кузан Л.Ф. и др. Образование наноразмерных струк-тур на поверхности кристаллов p-CdTe при однократном воздействии импульс-ного излучения рубинового лазера // Физика и техника полупроводников. – 2005. – Т. 39, № 9. – С. 1064–1067.

Шур В.Я., Кузнецов Д.К., Лобов А.И. и др. Поверхностные самоподобные монодо-менные структуры, индуцированные лазер-ным излучением в ниобате лития // Физика и техника полупроводников. – 2008. – Т. 50, № 4. – С. 689–695.

Жигалина О.М., Хмеленин Д.Н., Воро-тилов К.А и др. Электронная микро-скопия структуры композиций пленок титаната бария–стронция на подложках Pt-Ti-SiO2-Si после лазерного отжига // Физика и техника полупроводников. – 2009. – Т. 51, № 7. – С. 1398–1399.

Лыков А.В. Теория теплопроводности. – Москва: Высшая школа, 1967. – 600 с.




Copyright (©) 2012 O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.