Хімія, фізика та технологія поверхні, 2014, 5 (1), 89-93.

Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ



Ya. A. Kosenok, V. E. Gaishun, O. I. Tyulenkova, V. G. Denisman, T. A. Gerasimenya, O. A. Matyushonok

Анотація


Описується методика одержання та результати досліджень морфології наночастинок у концентрованих водних суспензіях на основі пірогенного діоксиду кремнію, а також силікатного золю, одержаного за іонообмінною технологєю. Результати мають значення для розробки полірувальних композицій, а також для встановлення закономірностей формування структурних, хімічних та електрофізичних властивостей поверхні і пояснення механізму хіміко-механічної поліровки напівпровідникових матеріалів.

Ключові слова


полірування суспензії; наночастинки кремнезему; АСМ та СЕМ дослідження; силікатний золь

Повний текст:

PDF

Посилання


1. Юзова В.А., Шелованова Г.Н. Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: курс лекций. – Красноярск: ИПК СФУ, 2009. – 220 с.

2. Артемов А.С., Рузавин И.Г., Фарафонов С.Б. Инновационные аспекты технологии химико-механического нанополирования (ХМП) материалов полупроводниковой электроники // Нанотехнологии и наноматериалы: современное состояние и перспек-тивы развития в условиях Волгоградской области. – Волгоград: ВолГУ, 2009. – С. 27–50.

3. Гунько В.М., Туров В.В., Горбик П.П. Вода на межфазной границе. – Киев: Наукова думка, 2009. – 694 c.

4. Gwyddion – Free SPM (AFM, SNOM/NSOM, STM, MFM, …) data analysis software [Electronic resource] / David Nečas – Petr Klapetek, 2008. – http://gwyddion.net. .

5. Айлер Р. Химия кремнезёма. – В 2-х ч.– Москва: Мир, 1982.–1128 с.




Copyright (©) 2014 Ya. A. Kosenok, V. E. Gaishun, O. I. Tyulenkova, V. G. Denisman, T. A. Gerasimenya, O. A. Matyushonok