Хімія, фізика та технологія поверхні, 2011, 2 (3), 253-257.

Дослідження адсорбції летючих комплексів металів з органічними лігандами



V. V. Krisyuk, A. E. Turgambaeva, G. I. Zharkova, P. A. Prozorov, I. K. Igumenov

Анотація


Досліджено кінетику адсорбції/десорбції ряду летючих комплексів паладію(II) з β-дикетонами та їхніми похідними на полікристалічній поверхні нержавіючої сталі. Склад газової фази, порядок десорбції, енергію активації десорбції і частотний фактор визначали, використовуючи метод температурно-програмованої десорбції з мас-спектрометричною реєстрацією газової фази. Встановлено, що для всього ряду сполук в інтервалі температур 303-473 К характерна фізична адсорбція. На підставі отриманих даних проведено відбір найбільш перспективних прекурсорів для одержання плівок металевого паладію методами пошарового і УФ-стимулюваного осадження.

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


Jasinski J.M., Meyerson B.S., Scott B.A. Mechanistic studies of chemical vapor deposition // Ann. Rev. Phys. Chem. – 1987. – V. 38. – P. 109–140.

Ma Q., Guo H., Gordon R.G., Zaera F. Uptake of copper acetamidinate ALD precursors on nickel surfaces // Chem. Mater. – 2010. – V. 22, N 2. – P. 352–359.

Cho Y.S., Cho S.I., Heo J.S. et al. Thermal decomposition of Ti(O-iPr)2(dpm)2 on Pt foil // J. Electrochem. Soc. – 2006. – V. 153, N 3. – P. C195–C201.

Coyle J.P., Johnson P.A., DiLabio G.A. et al. Three-step calcination synthesis of high-purity Li8ZrO6 with CO2 absorption properties // Inorg. Chem. – 2010. – V. 49. – Р. 2844–2850.

Falconer J.L., Schwarz J.A. Temperature-programmed desorption and reaction: applications to supported catalysts // Catal. Rev. Sci. Eng. – 1983. – V. 25, N 2. – P. 141–227.

Cirolami G.S., Jeffries P.M., Dubois L.H. Mechanisitc studies of copper thin-film growth from Cu(I) and Cu(II) β-diketonates // JACS. – 1993. – V. 115. – P. 1015–1024.

Parmeter J.E. Copper CVD chemistry on a reactive substrate: bis(hexafluoroacetylacetonato)copper and hfacH on platinum (111) // J. Phys. Chem. – 1993. – V. 97. – P. 11530–11541.

Zharkova G.I., Sysoev S.V., Stabnikov P.A. et al. Vapor pressure and crystal lattice energy of volatile palladium(II) β-iminoketonates // J. Therm. Anal. Calorim. – 2011. – V. 103. – P. 381–385.

Habenschaden E., Kuppers J. Evaluation of flash desorption spectra // Surf. Sci. – 1984. – V. 138. – P. L147–L150.

Miller J.B., Siddiqui H.R., Gates S.M. et al. Extraction of kinetic parameters in temperature programmed desorption: A comparison of methods // J. Chem. Phys. – 1987. – V. 87, N 11. – P. 6725–6732.

Чоркендорф И., Наймантсведрайт Х. Современный катализ и химическая кинетика (Concepts of Modern Catalysis and Kinetics). – Москва: Интеллект, 2010. – 504 c.

Johansson M., Lytken O., Chorkendorff I. The sticking probability for H2 on some transition metals at a hydrogen pressure of 1 bar // J. Chem. Phys. – 2008. – V. 128, N 3. – P. 034706-11.




Copyright (©) 2011 V. V. Krisyuk, A. E. Turgambaeva, G. I. Zharkova, P. A. Prozorov, I. K. Igumenov

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.